X射线是一种波长短，能量高的电磁波，可以穿透很多不透明的物质。X射线的穿透力与自身的能量和被穿透物质的密度有关，在能量一定的情况下，物质密度越小，对X射线的吸收越少，X射线的穿透力越强。利用这种性质，可以把密度不同的物质区分开来。
基于X射线的特点，在功率器件的失效分析中，X射线扫描有以下三种用途：
1)对功率器件进行焊料空洞透视。对于使用软焊料的器件，当软焊料内部存在空洞时，空洞位置的软焊料远比正常区域少，穿透过的X射线会明显多于正常区域，表现在X射线设备上，就是空洞区域明显比正常区域亮度高。
2）检查器件内部是否存在断丝、交丝等异常。由于X射线对功率器件使用的金线、铜线穿透性较弱，因此在X射线照片上可以清楚地看到焊点的位置、焊线的方向等情况。由于X射线对铝的穿透性很强，在X射线照片中，铝线、铝带较为模糊，无法使用X射线对铝线产品进行检查
3）检查器件的内部结构。X射线对于塑封料、焊线、芯片、软焊料、和载体及引脚的穿透性不一致，可以形成与器件内部结构相对应的图像
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